氢气再生式氮气净化器属于CZN系列中的特殊系列,包括手动CZN-BH、半自动CZN-CH、全自动CZN-ZH类型,该系列氮气净化器主要用于电子、半导体、高纯材料、原子能、等行业的生产和封装用氮气的净化。
氮气净化器技术参数:
设备名称
设备型号
工作方式
再生方式
备 注
氢气再生式氮气净化器
CZN-BH
手动
手动
工作塔一用一备
CZN-CH
半自动
半自动
工作塔一用一备
CZN-ZH
自动
自动
工作塔一用一备
原气要求
纯 度
杂质要求
O2≤1000PPm; H2O≤1000PPm
输出纯气
纯 度
≥99.9995%
杂质含量
O2≤0.1PPm;H2O≤2PPm(即露点≤-70℃);
尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升
工作压力
0~1.0MPa
处理气量
1~500Nm3/h